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              箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

              箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

              銷售咨詢熱線:181 3605 7999

              產品展示

              項目

              規格

              主機尺寸

              1955W x 1580D x 1750H mm

              真空腔體尺寸

              1020W x 1330D x 913H mm

              電極板配置

              16 片垂直電極板,15 個處理位置

              有效區域

              1100W x 615H mm

              等離子體電源

              10kw-20kw

              電極溫度

              35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間

              工藝氣體控制

              標配:
              O2、N2:0~5000sccm;
              CF4:0~400sccm;
              Ar:0~2000sccm;
              可選:
              額外一路工藝氣體,流量范圍可定制

              真空檢測

              0.01Torr~760Torr

              工作氣壓

              0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

              人機界面觸摸屏

              中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級;

              真空泵組

              選配

              型號指示燈

              三色指示燈,帶報警蜂鳴器

              系統重量

              ~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機

              空間需求

              4000 x 4000 x 2200(H)mm

              電源需求

              AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

              壓縮空氣需求

              潔凈、干燥,0.5~0.8MPa

              工藝氣體需求

              0.3~0.5MPa,純度>99.9%

              廠務冰水需求

              20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項)

              抽風系統

              >100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項)

              廢氣管道

              >3 立方/min,中央廢氣系統,DN50

              環境溫濕度

              20~30℃,30%~70%RH


              上一條 已經是第一篇
              下一條 真空卷對卷垂直式

              本文標簽:

              揚州國興技術有限公司
              電話:181 3605 7999
              地址:揚州市江都區大橋鎮309縣道陳巷組63號6號廠房(揚州工廠)
              江蘇省昆山市平巷路8-4號(昆山辦事處)
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